半導体向け

●シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用
 部品
  →ヒーター、坩堝、カーボン断熱材、
  カーボンフェルト
  C/Cコンポジット部品 他各種部品

●ヒーター(光ファイバー用) ●ルツボ
●サセプター ●ダミーウエハ ●熱処理用治具 ●プラズマCVD用部品

シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイトが使用されています。 また、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、 先端産業向けに広く貢献しております。

半導体向け

熱処理用

●各種炉内部品 
  →断熱材やヒーターなど消耗品の製作
   カーボン断熱材
   カーボンフェルト
   カーボンヒーター

●C/Cコンポジット製 棚板、ボルト、ナット
 他各種部品

●プレート棚 ●位置決め治具

耐熱性・熱膨張の低さ等のカーボンの特性を生かし、機械部品の焼入れ、表面処理、各種熱処理に使用されております。

熱処理用
▲ページのトップへ